高性能微米/纳米焦点X射线检测系统

- 拥有出色像素分辨率（85 /100μm）的新型平板检测器更胜任半导体和微小电子元件检查
- 180kV的20W高功率微米/20W纳米焦点射线管，检测细节分辨率可达0.5微米/0.2微米
- 易于使用：检测报告自动生成
- X|act软件包技术能够提供基于CAD文件导入的微米级自动检测功能
- 钻石靶能够实现同等影像质量水平下，数据截取速度快2倍
- CT功能可在最快10秒内完成扫描
- Shadow|Target通过减少非必要剂量来防止敏感设备受到辐射损坏
- 光学样品导航图可以概览大尺寸样品并快速定